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三(叔丁氧基)硅烷醇

Tris(tert-butoxy)silanol
产品编号:3256066
规格:99.999%
CAS NO:18166-43-3
包装规格:5 G,25 G
产品类别:进口试剂
品牌:Sigma-Aldrich
优惠价:立即咨询
产品编号包装单位单价(元)国内现货国外库存询价单
32560665 G1036
325606625 G3110
产品别名

18166-43-3

三(叔丁氧基)硅烷醇

Tris(tert-butoxy)silanol

TBS

结构式
基本信息
Linear Formula【线性分子式】
((CH3)3CO)3SiOH
Molecular weight
264.43
MDL number
MFCD00271024
PubChem Substance ID【PubChem化学物质编号】
24879332
NACRES
NA.23
General description【一般描述】
三(叔丁氧基)硅烷醇可以与各种金属烷基酰胺反应,作为气相沉积金属硅酸盐的前体。它也是二氧化硅沉积的理想前体。
Application【应用】
三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气(Hf(N(CH3)2)4)反应,用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积(ALD)。
产品性质
Quality Level【质量水平】
100
Assay【测定】
99.999%
form【形式】
solid
bp
205-210 ℃ (lit.)
mp
63-65 ℃ (lit.)
SMILES string
CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C
InChI
1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3
InChI key
HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N
packaging【包装】
5, 25 g in glass bottle
安全信息
Storage Class Code【储存分类代码】
13 - Non Combustible Solids
WGK
WGK 3
Personal Protective Equipment【个人防护装备】
Eyeshields, Gloves, type N95 (US)
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