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含有表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6:1

Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant
产品编号:4062473
包装规格:1 L
产品类别:进口试剂
品牌:Sigma-Aldrich
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产品编号包装单位单价(元)国内现货国外库存询价单
40624731 L1230
产品别名

含有表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6:1

Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant

Buffered HF

BHF

缓冲HF

基本信息
NACRES
NA.23
General description【一般描述】
缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物,例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快,无法实现良好的工艺控制,并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。
Application【应用】
含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)6:1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物,用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法,制造微生物芯片。
产品性质
form【形式】
liquid
安全信息
Pictograms【象形图】
GHS05,GHS06
Signal word【警示用语:】
Danger
Hazard Statements
H300 + H310 + H330 - H314
Precautionary Statements
P260 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
Hazard Classifications【危险分类】
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
Storage Class Code【储存分类代码】
6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
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